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          物競(jìng)編號(hào) 1689
          分子式 SF6
          分子量 146.06
          標(biāo)簽 高純六氟化硫, 電子蝕刻劑, 冷凍劑, 反吸附劑, 無(wú)機(jī)絕緣材料, 電子特種氣體原料及中間體

          編號(hào)系統(tǒng)

          CAS號(hào):2551-62-4

          MDL號(hào):MFCD00011447

          EINECS號(hào):219-854-2

          RTECS號(hào):WS4900000

          BRN號(hào):暫無(wú)

          PubChem號(hào):24857806

          物性數(shù)據(jù)

          1.性狀:無(wú)色無(wú)味氣體。[1]

          2.熔點(diǎn)(℃):-51[2]

          3.沸點(diǎn)(℃):-64(升華)[3]

          4.相對(duì)密度(水=1):1.67(-100℃)[4]

          5.相對(duì)蒸氣密度(空氣=1):6.602[5]

          6.飽和蒸氣壓(kPa):2450(25℃)[6]

          7.臨界溫度(℃):45.6[7]

          8.臨界壓力(MPa):3.76[8]

          9.辛醇/水分配系數(shù):1.68[9]

          10.溶解性:微溶于水,溶于乙醇、乙醚。[10]

          11.汽化熱(Kg/mol):23.59(升華熱)

          12.熔化熱(Kg/mol):5.82

          13.黏度(mPa·s,氣體):0.01576

          14.黏度(mPa·s,液體):0.277

          15.折射率(氣體):1.000783

          毒理學(xué)數(shù)據(jù)

          1、急性毒性:兔子靜脈注射LD50:5790mg/kg;

          2、六氟化硫是一種窒息劑,在高濃度下會(huì)呼吸困難、喘息、皮膚和黏膜變藍(lán)、全身痙攣。 吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后,人體會(huì)出現(xiàn)四肢麻木,甚至窒息死亡 。我國(guó)規(guī)定,操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m3或空氣中氧含量應(yīng)大于18%;短期接觸,空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3。六氟化硫在藥理上是惰性氣體,低毒但對(duì)人體有窒息作用。在生活或使用過(guò)程中會(huì)分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。

          3.急性毒性  LD50:5790mg/kg(兔靜脈)[11]

          生態(tài)學(xué)數(shù)據(jù)

          1.生態(tài)毒性  暫無(wú)資料

          2.生物降解性  暫無(wú)資料

          3.非生物降解性  暫無(wú)資料

          4.其他有害作用[12]  溫室氣體,可造成全球氣候變暖。

          分子結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)

          1、摩爾折射率:無(wú)可用的

          2、摩爾體積(cm3/mol):無(wú)可用的

          3、等張比容(90.2K):無(wú)可用的

          4、表面張力(dyne/cm):無(wú)可用的

          5、介電常數(shù):無(wú)可用的

          6、極化率(10-24cm3):無(wú)可用的

          7、單一同位素質(zhì)量:145.962489 Da

          8、標(biāo)稱(chēng)質(zhì)量:146 Da

          9、平均質(zhì)量:146.0554 Da

          計(jì)算化學(xué)數(shù)據(jù)

          1.疏水參數(shù)計(jì)算參考值(XlogP):4.2

          2.氫鍵供體數(shù)量:0

          3.氫鍵受體數(shù)量:6

          4.可旋轉(zhuǎn)化學(xué)鍵數(shù)量:0

          5.互變異構(gòu)體數(shù)量:無(wú)

          6.拓?fù)浞肿訕O性表面積1

          7.重原子數(shù)量:7

          8.表面電荷:0

          9.復(fù)雜度:62.7

          10.同位素原子數(shù)量:0

          11.確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0

          12.不確定原子立構(gòu)中心數(shù)量:0

          13.確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0

          14.不確定化學(xué)鍵立構(gòu)中心數(shù)量:0

          15.共價(jià)鍵單元數(shù)量:1

          性質(zhì)與穩(wěn)定性

          1.具有很高的介電強(qiáng)度和良好的滅弧性能,沒(méi)有偶極矩,因此,介電常數(shù)不因頻率而變化。導(dǎo)電性良好。化學(xué)性質(zhì)很穩(wěn)定。微溶于水、醇及醚,可溶于氫氧化鉀。不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學(xué)反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。500℃以下對(duì)石英不起作用。250℃時(shí)與金屬鈉反應(yīng),-64℃時(shí)在液氨中反應(yīng)。室溫下易與二甲基乙二醚作用。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時(shí),在特定的金屬存在下略分解,如鋼及硅鋼能促使其緩慢分解。升華溫度-63.8℃。液態(tài)密度1.88g/cm3(-50.8℃),在水中溶解度很小,稍溶于酒精。六氟化硫?qū)岷芊€(wěn)定,化學(xué)性質(zhì)很不活潑,既不能與酸也不能與堿作用。

          2.穩(wěn)定性[13]  穩(wěn)定

          3.禁配物[14]  強(qiáng)氧化劑、易燃或可燃物

          4.聚合危害[15]  不聚合

          5.分解產(chǎn)物[16]  氟化氫

          貯存方法

          儲(chǔ)存注意事項(xiàng)[17]  儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專(zhuān)用庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易(可)燃物、氧化劑分開(kāi)存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

          合成方法

          1.直接合成法 經(jīng)凈化后的氟(含HF≤0.5%)和硫反應(yīng)生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。經(jīng)水洗、堿洗除去絕大部分雜質(zhì)氣體,再經(jīng)熱解爐分解S2F10成SF6和SF4(300~350℃),然后經(jīng)堿洗進(jìn)一步除去雜質(zhì),凈化后的SF6氣體經(jīng)硅膠及分子篩干燥器干燥后,制得六氟化硫產(chǎn)品:

          將硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氫等加入到無(wú)水氟化氫中,以鎳為陽(yáng)極進(jìn)行電解即可制得六氟化硫?;蚍土蛑苯臃磻?yīng)制備六氟化硫。還可以金屬氧化物為催化劑于300℃下用空氣氧化四氟化硫,或者在500~2000℃使氟化硫熱解。

          2.以長(zhǎng)約300mm直徑25mm的鎳管為反應(yīng)器,將盛有硫粉的鎳舟置于其中,反應(yīng)管與一石英阱連接,石英阱以液態(tài)氧冷卻。裝置的末端與一裝有新脫水的KF的鐵制干燥管相連,以隔離空氣中的濕氣。硫在氟氣流中燃燒,生成的產(chǎn)物凝聚在冷阱中。隨后進(jìn)行純化,使產(chǎn)物氣化并通過(guò)10%的KOH熱溶液(不用NaOH)洗滌除去其中的雜質(zhì)(HF,SF2,SF4,SOF2,S2F10)。然后用P4O10干燥產(chǎn)物氣體,并在室溫下通過(guò)活性炭除去S2F10。

          3.使SO2在過(guò)量的F2中燃燒可生成SF6。反應(yīng)溫度約650℃,產(chǎn)物在冷阱中凝聚,其中除SF6外主要雜質(zhì)是SO2F2。純化時(shí)將其通過(guò)裝有水和熱的10%KOH溶液的洗滌瓶,最后用P4O10干燥。

          4.元素氟和硫直接反應(yīng)法。直接電解法 將硫、二氯化硫、一氯化硫、二硫化碳或硫化氫等加入到無(wú)水氟化氫中,以鎳為陽(yáng)極進(jìn)行電解即可制得六氟化硫。用硫化氫與無(wú)水氫氟酸電解時(shí),以鎳作極,鐵作陰極,溫度為-10~20℃,電壓為7~20V。電解產(chǎn)物應(yīng)除去雜質(zhì);催化氧化法 金屬氧化物為催化劑,于300℃下,用空氣氧化四氟化硫,該法缺點(diǎn)是收率過(guò)低;熱解法 在500~2000℃使SF4熱解,但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低,采用微波放電分解SF4亦可。氟化鈷法 將硫磺或其他硫化物在三氟化鈷和二氯化鈷存在下與過(guò)量氟作用以制備六氟化硫。二氧化硫與氟燃燒法。聯(lián)產(chǎn)法 氯氟代甲烷和六氟化硫聯(lián)產(chǎn),氟化碳(COF2)與六氟化硫聯(lián)產(chǎn)。

          用途

          1.新一代超高壓絕緣介質(zhì)材料。作為良好的氣體絕緣體,被廣泛用于電子、電氣設(shè)備的氣體絕緣。電子級(jí)高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域,用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源,在制造低損耗優(yōu)質(zhì)單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準(zhǔn)分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測(cè)及其他部門(mén)用作示蹤劑、標(biāo)準(zhǔn)氣或配制標(biāo)準(zhǔn)混合氣。在高壓開(kāi)關(guān)中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學(xué)穩(wěn)定性好和對(duì)設(shè)備不腐蝕等特點(diǎn),在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑(操作溫度-45~0℃之間)。由于對(duì)α粒子有高度的停止能力,還用于放射化學(xué)。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

          2.可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝,也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。在微電子業(yè)中,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導(dǎo)體材料上的有機(jī)或無(wú)機(jī)膜狀物,并可在光導(dǎo)纖維的制造過(guò)程中,作為單膜光纖隔離層摻雜劑。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高,且不易燃燒,另外,六氟化硫還用于各種加速器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸?shù)慕^緣介質(zhì)。目前六氟化硫是應(yīng)用較為廣泛的測(cè)定大氣污染的示蹤劑,示蹤距離可達(dá)100km。六氟化硫化學(xué)穩(wěn)定性好,對(duì)設(shè)備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),作制冷劑替代氟利昂,對(duì)臭氧層完全沒(méi)有破壞作用,符合環(huán)保和使用性能的要求,是一種很有發(fā)展?jié)摿Φ闹评鋭S米麟姎饨^緣介質(zhì)和滅弧劑,測(cè)定大氣污染程度的示蹤劑。

          3.主要用于高壓開(kāi)關(guān)中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用。可在核粒子加速器及避雷器X射線(xiàn)設(shè)備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學(xué)穩(wěn)定性好,對(duì)設(shè)備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),SF6對(duì)α-粒子有高度的停止能力,故在放射化學(xué)中也有應(yīng)用;也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

          4.用作電子設(shè)備和雷達(dá)波導(dǎo)的氣體絕緣體。[18]

          安全信息

          危險(xiǎn)運(yùn)輸編碼:UN 1080 2.2

          危險(xiǎn)品標(biāo)志:暫無(wú)

          安全標(biāo)識(shí):暫無(wú)

          危險(xiǎn)標(biāo)識(shí):暫無(wú)

          文獻(xiàn)

          [1~18]參考書(shū):危險(xiǎn)化學(xué)品安全技術(shù)全書(shū).第一卷/張海峰主編.—2版.北京;化學(xué)工業(yè)出版社,2007.6 ISBN 978-7-122-00165-8

          備注

          暫無(wú)

          表征圖譜